DS827R Máy khử tĩnh khu vực dòng chảy laminar_Hệ thống ion hóa phòng_Xóa bỏ tĩnh_Sản phẩm

Chi tiết sản phẩm

Cấu trúc nhỏ gọn, cài đặt trong không gian chặt chẽ

Với thiết kế nhỏ gọn cao, giảm đáng kể không gian chiếm đóng, làm cho nó dễ dàng tích hợp vào không gian hạn chế của các thiết bị quy trình khác nhau. Kích thước nhỏ gọn của nó không chỉ lắp đặt trong các dây chuyền sản xuất hiện có mà còn cho phép bố trí linh hoạt trong các dây chuyền sản xuất mới, giúp khách hàng tối đa hóa việc triển khai các chức năng điều khiển tĩnh trong không gian hạn chế, tối ưu hóa cấu hình thiết bị tổng thể.

Silicon tinh thể đơn, giảm ô nhiễm hạt

Các kim ion truyền thống có xu hướng sản xuất các hạt vi trong khi xả, trở thành nguồn ô nhiễm trong môi trường sạch. Sản phẩm này sử dụng kim ion silicon tinh thể đơn tinh khiết cao với cấu trúc ổn định. Các hạt hầu như không tách ra trong không khí ion áp suất cao trong một thời gian dài, giảm nguy cơ ô nhiễm tại nguồn. Ionizer trong công cụ này đặc biệt phù hợp với các ngành công nghiệp có yêu cầu về độ sạch cực kỳ cao, chẳng hạn như bán dẫn, màn hình quang điện tử và y sinh học, bảo vệ hiệu quả các sản phẩm quy trình quan trọng như wafer và thành phần quang học khỏi ô nhiễm, cải thiện năng suất sản phẩm và độ tin cậy.

Cung cấp điện 24VDC, giám sát thời gian thực

Ionizer trong công cụ hỗ trợ theo dõi trạng thái hoạt động thời gian thực của nó. Nó cung cấp hình ảnh trạng thái địa phương thông qua đèn chỉ báo trực quan và cho phép truyền dữ liệu từ xa và phản hồi thông qua giao diện truyền thông. Khi phát hiện điều kiện hoạt động bất thường, Ionizer trong công cụ tự động kích hoạt một cơ chế cảnh báo, giúp nhân viên bảo trì xác định chính xác nguyên nhân gốc rễ của lỗi và giảm thiểu hiệu quả rủi ro lỗi sản phẩm lô và thời gian ngừng hoạt động không có kế hoạch do lỗi loại bỏ tĩnh.

Điều khiển hoàn toàn tự động tương thích với các giao thức công nghiệp

Ionizer trong công cụ được trang bị giao diện truyền thông công nghiệp RS485 hoặc giao diện PLC, cho phép tích hợp dễ dàng vào các hệ thống điều khiển nhà máy hiện có để bắt đầu / dừng từ xa, điều chỉnh thông số và giám sát tập trung. Người dùng có thể điều chỉnh thông số trong thời gian thực để đáp ứng nhu cầu điều khiển tĩnh của các giai đoạn quy trình khác nhau. Tính năng này tạo điều kiện cho việc xây dựng các dây chuyền sản xuất thông minh, cho phép kết nối thiết bị và quản lý vòng kín dữ liệu sản xuất, cải thiện hiệu quả sản xuất tổng thể và sự nhất quán của quy trình.

Giải pháp ESD cho hệ thống tải và vận chuyển wafer

Vào thời điểm quan trọng khi các wafer được chuyển từ cánh tay robot sang thiết bị chính xác, điện tĩnh có thể thu hút các hạt gây tử vong và gây thiệt hại ESD. Tronovo DS827R In-tool Ionizer được cài đặt tại cổng tải, tạo thành một rèm ion trung lập bề mặt tĩnh của wafer đến mức cực kỳ thấp trong vài miligiây. Điều này loại bỏ nguy cơ ô nhiễm hạt và xả tĩnh điện tại nguồn, trực tiếp bảo vệ năng suất lõi của các quy trình đầu.

Giải pháp loại bỏ tĩnh điện cho phân loại và lắp đặt chip

Trong quá trình nhặt và đặt chip, điện tĩnh có thể gây ra lỗi nhặt, sự mất sắp xếp vị trí và thiệt hại ESD. Tronovo DS827R In-tool Ionizer được tích hợp trên trạm chọn và đặt của máy đặt, trung lập chính xác điện tĩnh trước và sau khi vòi phun tiếp xúc với chip. Điều này đảm bảo rằng các chip nhỏ được chuyển và định vị một cách đáng tin cậy và ổn định, cải thiện đáng kể hiệu quả đóng gói và độ tin cậy của chip.